[发明专利]使用颜色测量的基板的厚度测量

摘要

一种用于获得代表基板上的层的厚度的测量的度量系统包含：被定位以获取所述基板的至少一部分的彩色图像的相机。控制器被配置以从所述相机接收所述彩色图像；将预先确定的路径存储在具有包含第一颜色通道和第二颜色通道的至少二个维度的坐标空间中；存储函数，所述函数提供代表厚度的数值，作为在所述预先确定的路径上的位置的函数；从在所述彩色图像中的针对所述像素的颜色数据确定在所述坐标空间中的像素的坐标；确定最靠近所述像素的所述坐标的在所述预先确定的路径上的点的位置；以及从所述函数和在所述预先确定的路径上的所述点的所述位置中，计算代表厚度的数值。

主权项

1.一种用于获得代表基板上的层的厚度的测量的度量系统，包含：支撑件，所述支撑件用于固持用于集成电路制造的基板；彩色相机，所述彩色相机被定位以获取由所述支撑件固持的所述基板的至少一部分的彩色图像；以及控制器，所述控制器被配置以：从所述相机接收所述彩色图像，将预先确定的路径存储在具有包含第一颜色通道和第二颜色通道的至少二个维度的坐标空间中，存储函数，所述函数提供代表厚度的数值，作为在所述预先确定的路径上的位置的函数，对于所述彩色图像的像素，从在所述彩色图像中的针对所述像素的颜色数据，确定在所述坐标空间中的所述像素的坐标，确定最靠近所述像素的所述坐标的在所述预先确定的路径上的点的位置，以及从所述函数和在所述预先确定的路径上的所述点的所述位置，计算代表厚度的数值。