[发明专利]静电吸盘

摘要

本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，放置处理对象物；基座板，支撑陶瓷电介体基板；及加热器板，设置在陶瓷电介体基板与基座板之间，加热器板具有：第1、2支撑板；加热器元件，设置在第1支撑板与第2支撑板之间；第1树脂层，设置在第1支撑板与加热器元件之间；及第2树脂层，设置在第2支撑板与加热器元件之间，当在层叠方向上观察时，第1支撑板的第2支撑板侧的面具有：第1区域，重叠于加热器元件；及第2区域，并不重叠于加热器元件，第2区域比第1区域更向第2支撑板侧突出。

主权项

1.一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置处理对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面；基座板，设置于层叠方向上离开所述陶瓷电介体基板的位置，支撑所述陶瓷电介体基板；及加热器板，设置在所述陶瓷电介体基板与所述基座板之间，其特征为，所述加热器板具有：第1支撑板，包含金属；第2支撑板，包含金属；加热器元件，设置在所述第1支撑板与所述第2支撑板之间，因电流的流动而发热；第1树脂层，设置在所述第1支撑板与所述加热器元件之间；及第2树脂层，设置在所述第2支撑板与所述加热器元件之间，当沿着所述层叠方向观察时，所述第1支撑板的所述第2支撑板侧的面具有：第1区域，重叠于所述加热器元件；及第2区域，并不重叠于所述加热器元件，在平行于所述层叠方向的截面上，所述第2区域比所述第1区域更向所述第2支撑板侧突出。