[发明专利]角速度传感器、传感器元件及多轴角速度传感器有效
| 申请号： | 201780042976.7 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN109477717B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 副岛宗高 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;H01L41/047;H01L41/09;H01L41/113 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 角速度传感器具有压电体、驱动电路和检测电路。压电体具有框架、一对驱动臂和检测臂。框架在正交坐标系xyz的x轴方向上相互分离的一对被支承部被支承。一对驱动臂在一对被支承部之间并且在x轴方向上相互分离的位置处从框架向y轴方向相互并列地延伸。检测臂在x轴方向上成为一对第一驱动臂之间的位置处从框架向y轴方向延伸。驱动电路向一对第一驱动臂施加相互相反的相位的电压，以使得一对第一驱动臂在x轴方向上向相互相反侧弯曲并振动。检测电路检测通过检测臂在z轴方向或者x轴方向上的弯曲变形而产生的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 元件 | ||
【主权项】：
1.一种角速度传感器，具有：压电体，其具有：框架，在正交坐标系xyz的x轴方向上相互分离的一对被支承部被支承；一对第一驱动臂，在所述一对被支承部之间并且在x轴方向上相互分离的位置处从所述框架相互并列地向y轴方向延伸；及检测臂，在x轴方向上成为所述一对第一驱动臂之间的位置处从所述框架向y轴方向延伸；驱动电路，其对所述一对第一驱动臂施加相互相反的相位的电压，以使得所述一对第一驱动臂在x轴方向上向相互相反侧弯曲并振动；和检测电路，其检测通过所述检测臂在z轴方向或者x轴方向上的弯曲变形而产生的信号。
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