[发明专利]角速度传感器、传感器元件及多轴角速度传感器

权利要求书

1.一种角速度传感器，具有：

压电体，其具有：框架，在正交坐标系xyz的x轴方向上相互分离的一对被支承部被支承；一对第一驱动臂，在所述一对被支承部之间并且在x轴方向上相互分离的位置处从所述框架相互并列地向y轴方向延伸；及检测臂，在x轴方向上成为所述一对第一驱动臂之间的位置处从所述框架向y轴方向延伸；

驱动电路，其对所述一对第一驱动臂施加相互相反的相位的电压，以使得所述一对第一驱动臂在x轴方向上向相互相反侧弯曲并振动；和

检测电路，其检测通过所述检测臂在z轴方向上的弯曲变形而产生的信号，

所述压电体仅具有从所述框架仅向y轴方向的一侧延伸的所述一对第一驱动臂，以作为从所述框架延伸并被施加电压而进行振动的臂，或者仅具有从所述框架仅向y轴方向的所述一侧延伸的所述一对第一驱动臂及与所述一对第一驱动臂并列地从所述框架仅向y轴方向的所述一侧延伸的臂，以作为从所述框架延伸并被施加电压而进行振动的臂。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，

所述角速度传感器还具有：

一对第一激发电极，在所述一对第一驱动臂每一个上，位于面向z轴方向的两侧的一对第一面；

一对第二激发电极，在所述一对第一驱动臂每一个上，位于面向x轴方向的两侧的一对第二面；

一对第一检测电极，在所述检测臂上，位于面向x轴方向的负侧的第三面的比其中央更靠z轴方向的正侧的位置、和面向x轴方向的正侧的第四面的比其中央更靠z轴方向的负侧的位置；

一对第二检测电极，位于所述第三面的比其中央更靠z轴方向的负侧的位置、和所述第四面的比其中央更靠z轴方向的正侧的位置；以及

多个布线，将所述一对第一驱动臂每一个上的所述一对第一激发电极彼此连接，将所述一对第一驱动臂每一个上的所述一对第二激发电极彼此连接，在所述一对第一驱动臂彼此，将所述一对第一激发电极与所述一对第二激发电极连接，将所述一对第一检测电极彼此连接，并且将所述一对第二检测电极彼此连接，

所述驱动电路经由所述多个布线，在所述一对驱动臂每一个，向所述一对第一激发电极与所述一对第二激发电极之间施加电压，

所述检测电路经由所述多个布线来检测所述一对第一检测电极与所述一对第二检测电极之间的电压。

3.一种角速度传感器，具有：

压电体，其具有：框架，在正交坐标系xyz的x轴方向上相互分离的一对被支承部被支承；一对第一驱动臂，在所述一对被支承部之间并且在x轴方向上相互分离的位置处从所述框架相互并列地向y轴方向延伸；及检测臂，在x轴方向上成为所述一对第一驱动臂之间的位置处从所述框架向y轴方向延伸；

驱动电路，其对所述一对第一驱动臂施加相互相反的相位的电压，以使得所述一对第一驱动臂在x轴方向上向相互相反侧弯曲并振动；和

检测电路，其检测通过所述检测臂在x轴方向上的弯曲变形而产生的信号，

所述压电体仅具有从所述框架仅向y轴方向的一侧延伸的所述一对第一驱动臂，以作为从所述框架延伸并被施加电压而进行振动的臂，或者仅具有从所述框架仅向y轴方向的所述一侧延伸的所述一对第一驱动臂及与所述一对第一驱动臂并列地从所述框架仅向y轴方向的所述一侧延伸的臂，以作为从所述框架延伸并被施加电压而进行振动的臂。

4.根据权利要求1或3所述的角速度传感器，其中，

所述检测臂位于所述一对第一驱动臂之间的中央。

5.根据权利要求1或3所述的角速度传感器，其中，

所述检测臂从所述框架向与所述一对第一驱动臂从所述框架延伸而出的一侧相同的一侧延伸而出，

所述压电体具有两组所述框架和所述一对第一驱动臂及所述检测臂的组合，以使得所述框架的与所述一对第一驱动臂延伸而出的一侧相反的一侧相互对置。