[发明专利]微滴沉积装置及其测试电路有效
| 申请号： | 201780041171.0 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109414931B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·克里斯多佛·伯德;穆贾希德-乌尔·伊斯兰姆 | 申请（专利权）人： | 赛尔科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;杨明钊 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种测试电路，用于确定致动器元件阵列中的致动器元件的电容，其中该测试电路包括：控制器；产生测试输入的源；测量电路，用于测量测试电路和致动器元件之间的测试路径上的一个或更多个测试值；其中该控制器被配置为在测试周期内：控制与致动器元件相关联的第一开关，以将致动器元件连接到测试路径；控制源以产生第一测试输入；以及根据响应于第一测试输入而产生的第一测试值来确定致动器元件的总电容；以及根据总电容(C |
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| 搜索关键词： | 沉积 装置 及其 测试 电路 | ||
【主权项】：
1.一种测试电路，用于确定致动器元件阵列中的致动器元件的电容(CACT)，其中所述测试电路包括：控制器；用于产生测试输入的源；测量电路，其用于测量所述测试电路和所述致动器元件之间的测试路径上的一个或更多个测试值；其中，所述控制器被配置为在测试周期内：控制与所述致动器元件相关联的第一开关，以将所述致动器元件连接到所述测试路径；控制所述源以产生第一测试输入；根据响应于所述第一测试输入而产生的第一测试值确定所述致动器元件的总电容(CPAR+CACT)；以及根据所述总电容(CPAR+CACT)确定所述致动器元件的电容(CACT)。
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