[发明专利]场发射装置和场发射方法有效
申请号: | 201780039118.7 | 申请日: | 2017-03-16 |
公开(公告)号: | CN109417007B | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | 高桥大造;畠中道大 | 申请(专利权)人: | 株式会社明电舍 |
主分类号: | H01J35/06 | 分类号: | H01J35/06;H01J35/16;H05G1/00 |
代理公司: | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 宋岩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 发射器(3)和靶(7)在真空室(1)中布置成彼此面对,并且保护电极(5)在发射器(3)的电子生成部分(31)的外周侧设置。发射器(3)通过具有能移动的主体(40)的发射器支撑单元(4)在真空室(1)的两端方向上能移动地被支撑。发射器支撑单元(4)由连接到发射器支撑单元(4)的操作单元(6)操作。通过由操作单元(6)操作发射器支撑单元(4),发射器(3)的电子生成部分(31)和靶(7)之间的距离改变,并且发射器(3)的位置固定在任意距离处,然后在发射器(3)的位置固定的情况下执行场发射。 | ||
搜索关键词: | 发射器 支撑单元 操作单元 场发射 真空室 场发射装置 彼此面对 两端方向 移动地 电极 外周 移动 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种电场放射装置,包括:/n真空外壳,通过密封筒状绝缘体的两个端侧并且在所述筒状绝缘体的内壁侧具有真空室而形成;/n发射器,位于所述真空室的一个端侧,并且具有面向所述真空室的另一个端侧的电子生成部分;/n保护电极,布置在所述发射器的所述电子生成部分的外周侧;/n靶,位于所述真空室的所述另一个端侧,并且被设置成面向所述发射器的所述电子生成部分;/n能移动的发射器支撑单元,在所述真空室的两端方向上能移动地支撑所述发射器;以及/n操作单元,连接到所述发射器支撑单元并且操作所述发射器支撑单元,并且/n所述操作单元被配置成通过所述操作单元对所述发射器支撑单元的操作来改变所述发射器的所述电子生成部分和所述靶之间的距离并且将所述发射器的位置固定在任意距离处,/n所述保护电极在其靶侧设置有小直径部分,所述发射器的所述电子生成部分与所述小直径部分接触和分离,并且/n在所述发射器的位置固定的情况下由所述发射器的所述电子生成部分执行场发射。/n
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