[发明专利]用于清洁真空腔室的系统、用于清洁真空腔室的方法以及用于清洁真空腔室的压缩机的用途在审
| 申请号： | 201780038862.5 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109844170A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·格比利;沃尔夫冈·布什贝克;迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;B08B5/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开涉及一种用于清洁真空腔室的系统。所述系统包括真空腔室和压缩机。真空腔室包括入口和出口。压缩机包括连接到出口的入口侧和连接到入口的出口侧。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁真空 腔室 压缩机 真空腔室 出口侧 入口侧 出口 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁真空腔室(110)的系统(100,200,300,400,500)，所述系统包括：所述真空腔室，具有入口(111)和出口(112)；和压缩机(120)，具有连接到所述出口(112)的入口侧(121)和连接到所述入口(111)的出口侧(122)。
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