[发明专利]在石墨烯薄片上提供临时保护层有效
| 申请号： | 201780037216.7 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN109313188B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | D·潘;B·戈德史密斯 | 申请（专利权）人： | 卡蒂亚生物公司 |
| 主分类号： | G01N33/543 | 分类号： | G01N33/543;G01N27/414;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 张全信;赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所公开技术的实施例包含使用光刻图案化技术图案化石墨烯薄片以用于生物传感器和电子应用。更具体地，本公开是针对借助硬掩模金属层图案化石墨烯薄片的方法。所述硬掩模金属层可以包含惰性金属，所述惰性金属可以在图案化工艺期间保护所述石墨烯薄片免受污染或损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 薄片 提供 临时 保护层 | ||
【主权项】：
1.一种用于在石墨烯薄片上提供临时层的方法，其包括：将石墨烯薄片转移到所选择晶片；将金属层沉积到所述石墨烯薄片的第一表面；以及移除所述金属层。
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