[发明专利]用于热处理基板的方法和装置有效
| 申请号： | 201780037086.7 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN109417014B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | H·格罗斯 | 申请（专利权）人： | L·K·格罗斯;M·E·格罗斯 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H05B41/32 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于热处理基板的装置(200)。在这种情况下，气体放电灯(110)在待机操作中以所谓的预燃模式运行。恒定功率的电源(280)可以经由第一电子开关(290)连接到气体放电灯上。至少一个充电电容器(120)可以经由第二电子开关(170)连接到气体放电灯上。例如，借助于装置(200)以光吸收控制的方式，可以对基板的端侧进行热处理，持续时间在20毫秒至500毫秒之间。该时间窗特别对厚度为2至200微米的涂层的热处理感兴趣，其中基板后侧的温度可保持低于端侧的温度。另外，通过在时间窗结束时经由第二电子开关(170)连接到电容器(120)的气体放电灯(110)上，可以显着增加端侧的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 热处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种使用至少一个气体放电灯(110)热处理基板的方法，其特征在于，气体放电灯在恒定电功率下运行具有20ms至5秒的持续时间的第一时间段，并且在第一时间段结束时，气体放电灯的平均电功率在具有50μs至20ms的持续时间的第二时间段内增加至少一个数量级。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于L·K·格罗斯;M·E·格罗斯，未经L·K·格罗斯;M·E·格罗斯许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780037086.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
