[发明专利]研削液有效
| 申请号： | 201780033332.1 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109312212B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 井上裕昭;竹村幸二;笹岛启佑;西藤和夫;田浦歳和 | 申请（专利权）人： | 创技股份有限公司;阪东化学株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种在抑制含有研磨粒时的分散性降低的同时离心分离的回收效率相对较高的研削液。本发明的研削液中，研削液的所有溶媒中的醇系溶媒及醚系溶媒的合计含量为95质量％以上、100质量％以下，所述醚系溶媒相对于所述醇系溶媒的质量比为1倍以上、5倍以下。25℃下的所述醚系溶媒的粘度低于所述醇系溶媒的粘度，所述醚系溶媒与所述醇系溶媒的粘度差优选为15mPa·s以上、20mPa·s以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研削液 | ||
【主权项】：
1.一种研削液，其用于基板材料的研削加工，且含有醇系溶媒及醚系溶媒，研削液的所有溶媒中的所述醇系溶媒及醚系溶媒的合计含量为95质量％以上、100质量％以下，所述醚系溶媒相对于所述醇系溶媒的质量比为1倍以上、5倍以下。
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