[发明专利]具有带裂缝的透明导电薄膜的高灵敏度传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201780032925.6 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN109196320B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李泰珉;崔瑢桓;李建熙;崔万秀 | 申请（专利权）人： | 多次元能源系统研究集团;首尔大学校产学协力团 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;C08L67/03;C08L23/06;C08L23/12;H01B5/14 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有带裂缝的透明导电薄膜的高灵敏度传感器。所述高灵敏度传感器是通过在支撑体上形成的透明导电薄膜上形成微细裂缝来获得，通过测定所述微细裂缝所形成的微细接合结构的变化、短路或开路引起的电阻变化，来测定外部的拉力或压力，这种高灵敏度透明导电裂缝传感器可适用于高精密度测量或人造皮肤，通过将所述传感器像素化，也可用作定位检测传感器，能够有有效地用于精密测量领域、基于人造皮肤等的生物测定设备、人体动作测定传感器、显示面板传感器等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 裂缝 透明 导电 薄膜 灵敏度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明高灵敏度传感器，其特征在于，具备：透明支撑体，及形成在所述支撑体的至少一面上的透明导电薄膜；所述透明导电薄膜具有裂缝，所述裂缝具有相向且至少一部分面相互接触的裂缝面，通过测定电性变化来测定外部刺激，所述电性变化是所述裂缝面因外部物理刺激发生移动而使接触面积变化或短路或再接触而发生的。
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