[发明专利]坐标测量探针主体有效
申请号: | 201780032777.8 | 申请日: | 2017-04-18 |
公开(公告)号: | CN109313004B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 斯科特.艾伦.哈斯拉;R.A.威斯纳;比约恩.E.B.詹森;S.古贺;A.齐藤 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B5/012 | 分类号: | G01B5/012;G01B7/00;G01B7/012 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 贺紫秋 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种坐标测量探针主体,包括刚性探针主体结构,该刚性探针主体结构包括上部安装部分、顺应元件安装框架和它们之间的轴向延伸部分。触针悬挂部分包括将移动元件悬挂在顺应元件安装框架上的顺应元件。感测移动元件的位移的位移感测装置包括输出相应位移信号的位移传感器。接收位移信号的电路板组件具有三个部件安装部分,它们与柔性电路部件互连,并位于轴向延伸部分周围。在各种实施例中,所有顺应元件都位于电路板组件的远侧。 | ||
搜索关键词: | 坐标 测量 探针 主体 | ||
【主权项】:
1.一种用于坐标测量探针主体的构造,具有沿探针主体轴线方向的相对较大的长度尺寸和沿横向于探针主体轴线的方向的相对较短的截面尺寸,所述坐标测量探针主体包括:刚性探针主体结构,包括上部安装部分、沿探针主体轴线方向延伸的轴向延伸部分、以及顺应元件安装框架;触针悬挂部分,包括:联接到触针的移动元件,以及布置成将所述移动元件从所述顺应元件安装框架悬挂的顺应元件构造;位移感测构造,布置成感测移动元件相对于顺应元件安装框架和刚性探针主体结构中的至少一个的位移,所述位移感测构造包括输出相应的位移信号的至少一个位移传感器;和电路板组件,包括至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分,它们是大致平面部分并且沿着探针主体轴线的方向延伸;其中,布置成使所述移动元件从所述顺应元件安装框架悬挂的顺应元件构造附接到所述顺应元件安装框架的附接部分,所述附接部分相对于所述电路板组件的远端远侧地定位;和其中,电路板组件的所述至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分围绕刚性探针主体结构的轴向延伸部分布置,并且布置在上部安装部分与顺应元件安装框架的附接部分之间。
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