[发明专利]坐标测量探针主体

权利要求书

1.一种用于坐标测量探针主体的构造，具有沿探针主体轴线方向的相对较大的长度尺寸和沿横向于探针主体轴线的方向的相对较短的截面尺寸，所述坐标测量探针主体包括：

刚性探针主体结构，包括上部安装部分、沿探针主体轴线方向延伸的轴向延伸部分、以及包括一个或多个附接部分的顺应元件安装框架；

触针悬挂部分，包括：

联接到触针的移动元件，以及布置成将所述移动元件从所述顺应元件安装框架悬挂的一个或多个基本上平面的顺应元件的构造；

位移感测构造，布置成感测移动元件相对于顺应元件安装框架和刚性探针主体结构中的至少一个的位移，所述位移感测构造包括输出相应的位移信号的至少一个位移传感器；和

电路板组件，包括至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分，它们是大致平面部分并且沿着探针主体轴线的方向延伸；

其中，布置成使所述移动元件从所述顺应元件安装框架悬挂的一个或多个基本上平面的顺应元件的构造中的每个顺应元件包括联接到所述移动元件的可偏转的中心区域以及附接到所述顺应元件安装框架的附接部分的周边区域，所述附接部分相对于所述电路板组件的远端远侧地定位；和

其中，电路板组件的所述至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分围绕刚性探针主体结构的轴向延伸部分布置，并且布置在上部安装部分与顺应元件安装框架的一个或多个附接部分之间。

2.根据权利要求1所述的构造，其中，所述至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分与至少一个柔性连接器部件电互连，使得至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分和所述至少一个柔性连接器部件形成能够折叠的电路板组件。

3.根据权利要求2所述的构造，其中，至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分中的一个还包括安装在其上的现场可编程门阵列，并且其中，至少一个柔性连接器部件的端部部分延伸超出至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分并包括配置为提供对现场可编程门阵列的可编程访问的连接元件。

4.根据权利要求1所述的构造，其中，所述至少第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分包括多层电路板的刚性层，并且它们与包括柔性电路构件的共用柔性层电互连。

5.根据权利要求1所述的构造，其中，将移动元件从顺应元件安装框架悬挂的所有顺应元件以及顺应元件安装框架的一个或多个附接部分相对于电路板组件的远端远侧地定位。

6.根据权利要求5所述的构造，其中，顺应元件安装框架刚性且可释放地联接到刚性探针主体结构的其余部分，使得移动元件、将移动元件从顺应元件安装框架悬挂的所有顺应元件、位移感测构造和顺应元件安装框架形成悬挂模块，该悬挂模块能够与刚性探针主体结构的其余部分分离。

7.根据权利要求5所述的构造，其中，顺应元件安装框架包括柱部分，并且刚性探针主体结构的轴向延伸部分包括配置成接收柱部分的孔。

8.根据权利要求7所述的构造，还包括柔性电路连接器，其可操作地连接到至少一个位移传感器，并且从位移感测构造延伸，以在第一部件安装部分、第二部件安装部分和第三部件安装部分中的一个上的配合连接器处可释放地接合电路板组件。

9.根据权利要求5所述的构造，其中，顺应元件安装框架包括柱部分，并且刚性探针主体结构的轴向延伸部分螺纹附接到柱部分。

10.根据权利要求1所述的构造，其中，一个或多个基本上平面的顺应元件的构造包括：

包括第一挠曲构造的基本上平面的第一顺应元件，第一挠曲构造将基本上平面的第一顺应元件的可偏转的中心区域连接到基本上平面的第一顺应元件的周边区域。

11.根据权利要求1所述的构造，其中，第一部件安装部分包括处理模拟信号的模拟部件，第三部件安装部分仅包括数字信号处理部件。