[发明专利]具有环结构的微型加热板装置有效
申请号: | 201780032551.8 | 申请日: | 2017-05-25 |
公开(公告)号: | CN109416336B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | F·乌德雷亚;S·Z·艾利;M·F·乔杜里 | 申请(专利权)人: | AMS传感器英国有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;G01N27/16 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 蒋爱花;李健 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 我们公开了一种微型加热板,包括衬底和衬底上的介电区域,所述衬底包括蚀刻部分和衬底部分。所述介电区域包括第一部分和第二部分。所述第一部分与所述衬底的蚀刻部分相邻,所述第二部分与所述衬底的衬底部分相邻。所述微型加热板还包括形成在所述介电区域中的加热器,以及形成在所述介电区域内和/或所述介电区域上方的环结构,使得所述环结构与所述介电区域的第一部分和第二部分连接。 | ||
搜索关键词: | 具有 结构 微型 加热 装置 | ||
【主权项】:
1.一种微型加热板,包括:衬底,所述衬底包括蚀刻部分和衬底部分;位于所述衬底上方的介电区域,其中所述介电区域包括第一部分和第二部分,其中所述第一部分与所述衬底的所述蚀刻部分相邻,所述第二部分与所述衬底的所述衬底部分相邻;加热器,所述加热器形成在所述介电区域中;和环结构,所述环结构形成在所述介电区域内或所述介电区域上方,使得所述环结构与所述介电区域的所述第一部分和所述第二部分连接。
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