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[发明专利]流传感器封装-CN202080074646.8在审
发明人： S·Z·艾利;A·德卢卡;切尔丁·李;蒂姆·巴特勒;E·加德纳;F·乌德雷亚;C·法尔科 -专利权人：弗卢斯索有限公司
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01F1/684 文献下载
摘要：我们在本文公开了一种流传感器，流传感器包括：第一衬底、介电区域、感测元件以及第二衬底，所述第一衬底包括蚀刻部分，所述介电区域位于第一衬底的第一侧上，其中介电区域包括位于第一衬底的蚀刻部分上方的至少一个介电薄膜，所述感测元件位于介电薄膜上或介电薄膜内，所述第二衬底与第一衬底的第二侧邻接。第一衬底的第一侧与第一衬底的第二侧是相反侧。第一衬底和第二衬底配合以形成通过流传感器的感测通道。
流传封装

[发明专利]热流体流传感器-CN202080073313.3在审
发明人： F·乌德雷亚;A·德卢卡;C·法尔科;S·Z·艾利;E·加德纳 -专利权人：弗卢斯索有限公司
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01F1/684 文献下载
摘要：我们在本文中公开了一种流和热量传导传感器，包括：半导体衬底，该半导体衬底包括蚀刻部分；介电区域，该介电区域位于半导体衬底上，其中介电区域包括位于半导体衬底的蚀刻部分上方的至少一个介电膜；以及加热元件，该加热元件位于介电膜内。介电膜包括位于加热元件与介电膜的边缘之间的一个或多个间断部。
流体流传

[发明专利]环境传感器系统-CN201780033961.4有效
发明人： S·Z·艾利;S·J·斯黛茜;F·乌德雷亚 -专利权人：希奥检测有限公司
申请日： 2017-05-25 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：一种环境传感器系统，其包括环境传感器，该环境传感器包括第一加热器和第二加热器，其中，与所述第二加热器相比，所述第一加热器配置成消耗更低的功率。该系统还包括与环境传感器连接的控制器。所述控制器被配置为检测是否存在目标环境参数的测量值。所述控制器被配置为基于所述目标环境参数的测量值的存在和/或结果来接通所述第一加热器和所述第二加热器中的至少一者。
环境传感器系统

[发明专利]具有环结构的微型加热板装置-CN201780032551.8有效
发明人： F·乌德雷亚;S·Z·艾利;M·F·乔杜里 -专利权人： AMS传感器英国有限公司
申请日： 2017-05-25 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：我们公开了一种微型加热板，包括衬底和衬底上的介电区域，所述衬底包括蚀刻部分和衬底部分。所述介电区域包括第一部分和第二部分。所述第一部分与所述衬底的蚀刻部分相邻，所述第二部分与所述衬底的衬底部分相邻。所述微型加热板还包括形成在所述介电区域中的加热器，以及形成在所述介电区域内和/或所述介电区域上方的环结构，使得所述环结构与所述介电区域的第一部分和第二部分连接。
具有结构微型加热装置

[发明专利]感测层构造-CN201680072838.9有效
发明人： S·J·斯黛茜;M·高维特;S·Z·艾利 -专利权人：希奥检测有限公司
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于加热微热板上的气体感测材料构造的方法，所述微热板包括：形成在包括蚀刻部分的半导体基底上的介电膜；以及气体感测材料构造被设置在介电膜的一侧上；所述方法包括：使用位于基底上的红外(IR)加热器，选择性地加热气体感测材料构造，使用设置在所述基底下方的冷却基板并利用位于所述基底和所述冷却板之间的绝热介质，可控地冷却所述半导体基底，使得气体感测结构从所述气体感测材料构造形成在所述介电膜的所述一侧上。
感测层构造

[发明专利]一种IR检测器阵列设备-CN201780008832.X有效
发明人： F·乌德雷亚;S·Z·艾利;R·H·霍普尔;J·加德纳;A·德卢卡 -专利权人： AMS传感器英国有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G01J5/12 文献下载
摘要：我们在这里公开了一种热IR检测器阵列设备，该设备包括由基底支撑的介电膜(2)，所述膜具有包括IR检测器(4、5)的阵列，其中该阵列大小是至少是3x3或更大，并且在所述膜层内部嵌入了轨迹(3)，以分离所述阵列的每一个像素，所述轨迹还充当了散热器和/或冷接点区域。
一种 ir 检测器阵列设备

[发明专利]热电堆自测试和/或自校准-CN201980032325.9在审
发明人： S·Z·艾利;K·莱蒂斯 -专利权人： AMS传感器英国有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本文公开了一种用于测试和/或校准基于热电堆的设备的方法。该方法包括：将第一极性的电偏压施加到基于热电堆的设备并且测量电参数的第一值；以及将第二极性的电偏压施加到基于热电堆的设备并且测量电参数的第二值。
热电测试校准

[发明专利]红外设备-CN201880089976.7在审
发明人： F·乌德雷亚;S·Z·艾利;R·H·霍普尔 -专利权人： AMS传感器英国有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G01J3/10 文献下载
摘要：我们在此公开了一种红外(IR)设备，包括：基板，其包括蚀刻腔体部分和基板部分；介电层，其设置在基板上。介电层包括介电膜，介电膜与基板的蚀刻腔体部分相邻、或者在其正上方或者在其正下方。设备还包括在介电膜上或介电膜中、或者其上方或者下方的反射层，以增强一个或多个波长的红外光的发射或吸收。
红外设备

[发明专利]一种红外装置-CN201880081614.3在审
发明人： F·乌德雷亚;S·Z·艾利;R·H·霍普尔;R·米尼克霍夫 -专利权人： AMS传感器英国有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： G01J5/04 文献下载
摘要：我们公开了一种红外(IR)装置，包括：第一基底，包括第一空腔；介电层，设置在第一基底上；第二基底，设置在所述介电层上并且设置在所述第一基底的相对侧上，所述第二基底具有第二空腔。该装置还包括连接于第一基底和第二基底中的一个的光透射层；另一层，设置于所述第一基底和所述第二基底中的另一个，使得所述IR装置基本上封闭。设置有穿过所述介电层的孔，使得第一空腔中的压力与第二空腔中的压力基本上相同。
一种红外装置

[发明专利]化学传感器-CN201780033376.4在审
发明人： R·H·霍普尔;A·德卢卡;K·莱蒂斯;S·Z·艾利;M·F·乔杜里 -专利权人： AMS传感器英国有限公司
申请日： 2017-05-25 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：我们公开了一种用于检测流体的化学传感装置。该传感装置包含：包括至少一个蚀刻部分的至少一个基底区域(1)；形成在所述至少一个基底区域上的介电区域(3)，所述介电区域包括与所述至少一个蚀刻部分相邻的至少一个介电膜区域(3)；用于发射红外(IR)信号的光源(2)；用于检测从所述光源发出的IR信号的光学检测器(4)；形成在所述介电区域之上或之下的一个或多个另外的基底(6)，所述一个或多个另外的基底限定用于IR信号从所述光源传播到所述光学检测器的光路。所述光源和所述光学检测器中的至少一个形成在所述介电膜区域之中或之上。
光源光学检测器介电区域蚀刻基底区域介电膜化学传感装置化学传感器传感装置检测流体光路基底发射传播

[发明专利]一种IR检测器阵列设备-CN201780008612.7在审
发明人： F·乌德雷亚;S·Z·艾利;R·H·霍普尔;J·加德纳;A·德卢卡 -专利权人： AMS传感器英国有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G01J5/08 文献下载
摘要：我们公开了一种红外(IR)检测器阵列，包括在包含蚀刻部分的半导体基底上形成的至少一个介电膜(2，3)；至少两个IR检测器(4，5)，以及在所述介电膜的一个或所有两个侧面的内部或是其上形成的至少一个图案化层(7)，用于控制所述IR检测器中的至少一个的IR吸收。所述图案化层包括横向间隔结构。
检测器检测器阵列图案化层介电膜蚀刻半导体基底横向间隔侧面吸收

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