[发明专利]基板支承装置、曝光装置、及图案化装置有效
| 申请号： | 201780030933.7 | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN109154784B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;鬼头义昭;堀正和;木内徹;仓重贵广 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/24 | 分类号： | G03F7/24;G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王涛;任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明是将具有可挠性的长条片状基板(P)的一部分沿圆筒状的外周面的圆周方向卷绕而加以支承的转筒(DR)，包括：圆筒体(50)，其具有距中心轴(AXo)为固定半径的圆筒状外周面；光电感测器(PDi)，其输出与朝向圆筒体(50)的外周面投射并射入至形成于圆筒体(50)的外周面的一部分的开口部(50 |
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| 搜索关键词： | 支承 装置 曝光 图案 化装 | ||
【主权项】：
1.一种基板支承装置，是将具有可挠性的长条片状基板的一部分沿圆筒状外周面的圆周方向卷绕支承，其具备：圆筒体，其具有距中心轴为固定半径的圆筒状外周面；光电检测器，其以输出与朝向上述圆筒体的外周面投射的光束的强度对应的信号的方式，配置在形成于上述圆筒体外周面的一部分的开口部或凹陷部；盖构件，以上述光束可穿透的材料构成，至少覆盖上述开口部或上述凹陷部；及电路部，其进行用以测量来自上述光电检测器的信号的信号处理。
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