[发明专利]电容检测型超声波换能器及具备其的超声波拍摄装置有效
| 申请号： | 201780027702.0 | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN109152568B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 竹崎泰一;町田俊太郎;龙崎大介;吉村保广;永田达也;山下尚昭 | 申请（专利权）人： | 富士胶片医疗健康株式会社 |
| 主分类号： | A61B8/14 | 分类号： | A61B8/14 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 电容检测型超声波换能器(111A)具备硅基板(101)、形成于硅基板(101)上的绝缘膜(102)、下部电极(103)、绝缘膜(104、106)、由在绝缘膜(106)的一部分所形成的空隙构成的空洞部(105)、上部电极(107)、绝缘膜(108、114)以及保护膜(109)。另外，空洞部(105)的上部的绝缘膜(106)、上部电极(107)、绝缘膜(108)、以及绝缘膜(114)构成振动膜(110)，振动膜(110)的上部的保护膜(109)被分割成隔开固定间隔的间隙(115)而规则性地排列的多个独立图案。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 检测 超声波 换能器 具备 拍摄 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电容检测型超声波换能器，其特征在于，具有：基板；形成于上述基板上的下部电极；在形成于上述下部电极上的第一绝缘膜的一部分所设置的空洞部；形成于上述第一绝缘膜上的上部电极；形成于上述上部电极上的第二绝缘膜；形成于上述第二绝缘膜上的保护膜；以及由上述空洞部上的上述第一绝缘膜、上述上部电极以及上述第二绝缘膜构成的振动膜，上述振动膜上的上述保护膜被分割成隔开预定的间隔的间隙而排列的多个图案。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片医疗健康株式会社，未经富士胶片医疗健康株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780027702.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
