[发明专利]电容检测型超声波换能器及具备其的超声波拍摄装置有效
| 申请号： | 201780027702.0 | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN109152568B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 竹崎泰一;町田俊太郎;龙崎大介;吉村保广;永田达也;山下尚昭 | 申请（专利权）人： | 富士胶片医疗健康株式会社 |
| 主分类号： | A61B8/14 | 分类号： | A61B8/14 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 检测 超声波 换能器 具备 拍摄 装置 | ||
1.一种电容检测型超声波换能器，其特征在于，具有：
基板；
形成于上述基板上的下部电极；
在形成于上述下部电极上的第一绝缘膜的一部分所设置的空洞部；
形成于上述第一绝缘膜上的上部电极；
形成于上述上部电极上的第二绝缘膜；
形成于上述第二绝缘膜上的保护膜；以及
由上述空洞部上的上述第一绝缘膜、上述上部电极以及上述第二绝缘膜构成的振动膜，
上述保护膜从上述振动膜上向其以外的区域延伸而形成，
上述振动膜上的上述保护膜被分割成隔开预定的间隔的间隙而排列的多个图案，
上述振动膜的周缘部的上方的上述保护膜比上述振动膜的中央部的上方的上述保护膜对蠕变变形的参与更多。
2.根据权利要求1所述的电容检测型超声波换能器，其特征在于，
上述振动膜的周缘部的上方的上述保护膜的图案密度比上述振动膜的中央部的上方的上述保护膜的图案密度低。
3.根据权利要求2所述的电容检测型超声波换能器，其特征在于，
上述振动膜的周缘部的上方的上述保护膜的平面尺寸比上述振动膜的中央部的上方的上述保护膜的平面尺寸小。
4.根据权利要求2所述的电容检测型超声波换能器，其特征在于，
上述振动膜的周缘部的上方的上述保护膜彼此的间隙的间隔比上述振动膜的中央部的上方的上述保护膜彼此的间隙的间隔大。
5.根据权利要求1所述的电容检测型超声波换能器，其特征在于，
上述振动膜的周缘部的上方的上述保护膜的膜厚比上述振动膜的中央部的上方的上述保护膜的膜厚薄。
6.根据权利要求1所述的电容检测型超声波换能器，其特征在于，
上述振动膜的周缘部的上方的上述保护膜的杨氏模量比上述振动膜的中央部的上方的上述保护膜的杨氏模量小。
7.一种超声波拍摄装置，其特征在于，具备具有权利要求1所述的电容检测型超声波换能器的超声波探针。
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