[发明专利]包含特定交联剂的保护膜形成用组合物及使用了该组合物的图案形成方法有效
| 申请号： | 201780026762.0 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN109073978B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 大桥智也;绪方裕斗;桥本雄人;臼井友辉;境田康志;岸冈高广 | 申请（专利权）人： | 日产化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F7/26;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;孙丽梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题是提供对碱性过氧化氢水溶液的保护膜形成用组合物。作为解决手段是一种对碱性过氧化氢水溶液的保护膜形成用组合物，其包含：1分子中具有2个以上选自缩水甘油基、末端环氧基、环氧环戊基、环氧环己基、氧杂环丁烷基、乙烯基醚基、异氰酸酯基和封闭异氰酸酯基中的至少1种基团的交联剂，侧链或末端具有下述式(1)所示的基团且重均分子量为800以上的化合物，以及有机溶剂。(式中，X |
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| 搜索关键词： | 包含 特定 交联剂 保护膜 形成 组合 使用 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对碱性过氧化氢水溶液的保护膜形成用组合物，其包含：1分子中具有2个以上选自缩水甘油基、末端环氧基、环氧环戊基、环氧环己基、氧杂环丁烷基、乙烯基醚基、异氰酸酯基和封闭异氰酸酯基中的至少1种基团的交联剂，侧链或末端具有下述式(1)所示的基团且重均分子量为800以上的化合物，以及有机溶剂；![]()
式中，X1表示与所述交联剂反应的取代基，R0表示直接结合或碳原子数1或2的亚烷基，X2表示碳原子数1或2的烷基、碳原子数1或2的烷氧基、或氟基，a表示0～2的整数，b表示1～3的整数，当b表示2或3时、‑R0‑X1所示的基团可以彼此不同，c表示0～4的整数，当c表示2、3或4时、X2所示的基团可以彼此不同，b与c满足1≤(b+c)≤5的关系式。
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