[发明专利]用于在非导电衬底上成像浮动金属结构的充电控制的方法及系统

摘要

本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。所述系统包含样本台，所述样本台经配置以固定具有安置在绝缘衬底上的导电结构的样本。所述系统包含电子光学柱，所述电子光学柱包含：电子源，其经配置以生成初级电子束；及一组电子光学元件，其经配置以将所述初级电子束的至少一部分引导到所述样本的一部分上。所述系统包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面射出的电子。所述系统包含控制器，所述控制器通信地耦合到所述检测器组合件。所述控制器经配置以引导所述电子光学柱及所述台使用所述初级电子束来执行所述样本的所述部分的图像扫描及泛射扫描的交替系列，其中在所述成像扫描中的一或多者之后执行所述泛射扫描中的每一者。

主权项

1.一种扫描电子显微镜设备，其包括：样本台，其经配置以固定包含安置在绝缘材料上的一或多个导电结构的样本；电子光学柱，其包括：电子源，其经配置以生成初级电子束；及一组电子光学元件，其经配置以将所述初级电子束的至少一部分引导到所述样本的一部分上；检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面射出的电子；及控制器，其通信地耦合到所述检测器组合件，所述控制器包含经配置以执行保存在存储器中的程序指令的一或多个处理器，所述程序指令经配置以引起所述一或多个处理器：引导所述电子光学柱使用所述初级电子束来执行所述样本的所述部分的图像扫描及泛射扫描的交替系列，其中在所述成像扫描中的一或多者之后执行所述泛射扫描中的每一者。