[发明专利]待安装于气体面板上的用于半导体制造操作的气体过滤器有效
| 申请号： | 201780020564.3 | 申请日： | 2017-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109069970B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 中村有希 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/10;B01D53/04;B01D53/22 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 顾晨昕 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种气体过滤器，其包含外壳，所述外壳包含安装部分及主要部分。所述安装部分经配置以将所述气体过滤器安装于装置的表面上。所述主要部分经配置以与所述装置的所述表面隔开而定位且从所述安装部分在水平方向上延伸。所述外壳具有入口及出口且界定所述入口与所述出口之间的流动通道。所述流动通道具有第一通道部分及第二通道部分，所述第一通道部分从所述入口延伸到所述第二通道部分，所述第二通道部分在实质上平行于所述水平方向的方向上延伸。过滤器部件定位于所述入口与所述出口之间的所述流动通道中。 | ||
| 搜索关键词： | 安装 气体 面板 用于 半导体 制造 操作 过滤器 | ||
【主权项】：
1.一种气体过滤器，其包括：外壳，其包含安装部分及主要部分，所述安装部分经配置以将所述气体过滤器安装于装置的表面上，所述主要部分经配置以与所述装置的所述表面隔开而定位，所述主要部分从所述安装部分在水平方向上延伸，所述外壳具有入口及出口且界定所述入口与所述出口之间的流动通道，所述流动通道具有第一通道部分及第二通道部分，所述第一通道部分从所述入口延伸到所述第二通道部分，所述第二通道部分在实质上平行于所述水平方向的方向上延伸；及过滤器部件，其定位于所述入口与所述出口之间的所述流动通道中。
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