[发明专利]光调制器

摘要

在现有技术的具有CPW电极构造的双电极的Si光调制器中，调制频率特性会因在两个接地电极传输的返回电流相位差而劣化。为了防止该劣化，缩短调制器长度而在相位差产生前使信号传输结束、或减小光波导pn结部电容与不经由RF电极以及光波导的接地电极间电容的差，来减小相位差。但是，当调制器长度缩短时，向光波导的施加电场会减少，调制效率会降低。空气桥、电线布线与CMOS兼容处理不匹配。本发明的光调制器具备配置于基板内的RF电极与光波导之间的、连接两个接地电极的桥布线。通过桥布线，CPW的两个接地电极间的电位相等，会消除由向RF电极的高频电信号感应出的在两个接地电极传输的返回电流相位差。能制作抑制高频特性劣化的Si光调制器。也能解决制作工序的在注入时掩模偏离的问题。

主权项

1.一种光调制器，是在基板上分别形成有包含被施加高频RF信号的信号电极的、至少两组共面线路CPW的Si光调制器，其特征在于，各CPW具备：所述信号电极；第一接地电极，以夹住构成于所述基板的内部的光波导的方式配置在所述信号电极的一侧；以及第二接地电极，配置于所述信号电极的另一侧，所述光波导包含具有中央芯和其两侧的平板区域的肋波导，所述第一接地电极通过层间连接布线而连接于所述平板区域的一方，所述信号电极通过层间连接布线而连接于所述平板区域的另一方，所述第一接地电极以及所述第二接地电极通过在所述基板的厚度方向从所述信号电极与所述光波导之间穿过的一个以上的布线电极而相互连接。