[发明专利]球状锂霞石粒子及其制造方法在审
申请号: | 201780016290.0 | 申请日: | 2017-03-21 |
公开(公告)号: | CN108713006A | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 佐藤裕;矢木克昌;田中睦人;阿江正德;德田尚三;松本匡史 | 申请(专利权)人: | 新日铁住金高新材料株式会社 |
主分类号: | C03C10/12 | 分类号: | C03C10/12;C03B19/06 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 王潇悦;李照明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 课题是提供一种球状锂霞石粒子及其制造方法,所述球状锂霞石粒子与以往相比圆形度高,并且具有大的负热膨胀率和高热传导率,具有高流动性、高分散性、高填充性,在半导体领域也能够应用。作为其解决手段,提供一种球状锂霞石粒子的制造方法以及采用该方法得到的球状锂霞石粒子,所述制造方法的特征在于,将含有45~55摩尔%的SiO2、20~30摩尔%的Al2O3、20~30摩尔%的Li2O的原料粉末进行喷镀,形成球状粒子,将所述球状粒子在600~1100℃进行热处理,得到包含89%以上的锂霞石晶相的球状粒子。 | ||
搜索关键词: | 锂霞石 粒子 球状粒子 制造 半导体领域 热处理 负热膨胀 高分散性 高流动性 高热传导 原料粉末 高填充 圆形度 喷镀 应用 | ||
【主权项】:
1.一种球状锂霞石粒子,其特征在于,含有45~55摩尔%的SiO2、20~30摩尔%的Al2O3、20~30摩尔%的Li2O且包含锂霞石晶相,所述球状锂霞石粒子的圆形度为0.90~1.0。
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