[发明专利]在基底、硬材料层、加工工具和涂层源上产生硬材料层的方法在审
| 申请号： | 201780015393.5 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN108884551A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托夫·切特尔;马库斯·波勒;皮特·波尔契克;马丁·卡特赖因 | 申请（专利权）人： | 森拉天时奥地利有限公司;普兰西复合材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C28/04;C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 田欣欣;段晓玲 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及在基底上产生硬材料层的方法,其中通过物理气相沉积(PVD)交替将CrTaN和AlTiN沉积使得多层涂层系统应用于基底，其中优选地CrTaN和/或AlTiN由复合靶沉积的。 | ||
| 搜索关键词： | 硬材料层 基底 沉积 物理气相沉积 多层涂层 加工工具 系统应用 复合靶 涂层源 优选 | ||
【主权项】：
1.一种在基底上产生硬材料层的工艺，其特征在于，通过物理气相沉积(PVD)交替将CrTaN和AlTiN沉积，多层涂层系统应用于基底。
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