[发明专利]束流强度转换膜以及束流强度转换膜的制造方法有效
| 申请号： | 201780014702.7 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108780670B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 村上睦明;多多见笃;立花正满 | 申请（专利权）人： | 株式会社钟化 |
| 主分类号： | G21K3/00 | 分类号： | G21K3/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现一种具备充分的屏蔽性、耐久性、耐热性且放射性活化程度能降低的束流强度转换膜。衰减器(1)由石墨膜构成，该石墨膜以其膜面与荷电粒子束(X)的束轴相交的方式配置，石墨膜的厚度为1μm以上，石墨膜在其膜面方向上的热导率是在其膜厚方向上的热导率的20倍以上。 | ||
| 搜索关键词： | 强度 转换 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种束流强度转换膜，其特征在于：具备可供荷电粒子束穿过的开口部且由1个或多个石墨膜构成，该石墨膜以其膜面与荷电粒子束的束轴相交的方式配置，各石墨膜的厚度为1μm以上，所述石墨膜在其膜面方向上的热导率是在其膜厚方向上的热导率的20倍以上。
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