[发明专利]束流强度转换膜以及束流强度转换膜的制造方法有效
| 申请号： | 201780014702.7 | 申请日： | 2017-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN108780670B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 村上睦明;多多见笃;立花正满 | 申请（专利权）人： | 株式会社钟化 |
| 主分类号： | G21K3/00 | 分类号： | G21K3/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 强度 转换 以及 制造 方法 | ||
1.一种束流强度转换膜，其特征在于：
由1个或多个石墨膜构成，该石墨膜以其膜面与荷电粒子束的束轴相交的方式配置，
所述石墨膜具备可供荷电粒子束穿过的开口部，所述石墨膜的厚度为1μm以上，所述石墨膜在其膜面方向上的热导率是在其膜厚方向上的热导率的20倍以上，
所述石墨膜在其膜面方向上的电导率是在其膜厚方向上的电导率的100倍以上，
所述石墨膜在其膜面方向上的电导率为18000S/cm以上，
所述石墨膜的所述开口部的开口率为10～50％。
2.根据权利要求1所述的束流强度转换膜，其特征在于：
各石墨膜在其膜面方向上的热导率为1000W/(m·K)以上。
3.根据权利要求2所述的束流强度转换膜，其特征在于：
各石墨膜在其膜面方向上的热导率为1600W/(m·K)以上。
4.根据权利要求1～3中任何一项所述的束流强度转换膜，其特征在于：所述石墨膜的密度为1.70g/cm3以上且2.26g/cm3以下。
5.根据权利要求4所述的束流强度转换膜，其特征在于：所述石墨膜的密度为2.00g/cm3以上且2.26g/cm3以下。
6.根据权利要求1～3中任何一项所述的束流强度转换膜，其特征在于：所述石墨膜在MIT耐弯曲试验中的弯曲次数为1000次以上。
7.根据权利要求1～3中任何一项所述的束流强度转换膜，其特征在于：由层叠体构成，该层叠体由多张所述石墨膜层叠而成。
8.一种束流强度转换膜的制造方法，其特征在于：
是由具备可供荷电粒子束穿过的开口部的1个或多个石墨膜构成的束流强度转换膜的制造方法，
通过对高分子膜进行煅烧来制作所述石墨膜，
所述石墨膜的厚度为1μm以上，所述石墨膜在其膜面方向上的热导率是在其膜厚方向上的热导率的20倍以上，
所述石墨膜在其膜面方向上的电导率是在其膜厚方向上的电导率的100倍以上，
所述石墨膜在其膜面方向上的电导率为18000S/cm以上，
所述石墨膜的所述开口部的开口率为10～50％。
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