[外观设计]基板研磨装置用按压部件有效
| 申请号： | 201730032075.2 | 申请日： | 2017-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN304253876S | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 上村健司;中西正行;山本晓;宫泽康之;小寺健治 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | 15-09 | 分类号： | 15-09 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称基板研磨装置用按压部件。2．本外观设计产品的用途本外观设计产品用于研磨半导体晶片等基板的边缘部，例如在显示使用状态参考图中所示，在基板研磨装置中，将本外观产品的突起部抵接在研磨带的内侧面，供研磨带的研磨面按压在旋转的基板的边缘部使用。3．本外观设计产品的设计要点整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片设计1立体图1。5．本外观设计产品设计1、设计2、设计3以及设计4中的左视图分别与其右视图对称，故省略前述各设计中的左视图。6．本外观设计产品是相似外观，设计1是基本设计。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 按压 部件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201730032075.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
