[实用新型]一种新型破空分流装置有效
| 申请号： | 201721918663.7 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207877853U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;马立云;潘锦功;殷新建;孙庆华;李浩 | 申请（专利权）人： | 成都中建材光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 | 代理人： | 李华;温黎娟 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种新型破空分流装置，包括真空阀，所述真空阀的进气端连接有过滤缓冲模块，所述真空阀的出气端连接有破空管道，所述破空管道联通有分流管，所述分流管上设置有若干分流孔，本申请提供的新型破空分流装置，可以增加真空腔的清洁度，并具有噪音小，冲击力小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 分流装置 真空阀 破空 分流管 破空管 过滤缓冲模块 清洁度 本实用新型 出气端 分流孔 进气端 真空腔 联通 冲击力 噪音 申请 | ||
【主权项】：
1.一种新型破空分流装置，包括真空阀(2)，其特征在于，所述真空阀(2)的进气端连接有过滤缓冲模块(1)，所述真空阀(2)的出气端连接有破空管道(3)，所述破空管道(3)联通有分流管(4)，所述分流管(4)上设置有若干分流孔(5)。
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