[实用新型]一种新型破空分流装置

说明书

本实用新型公开一种新型破空分流装置，包括真空阀，所述真空阀的进气端连接有过滤缓冲模块，所述真空阀的出气端连接有破空管道，所述破空管道联通有分流管，所述分流管上设置有若干分流孔，本申请提供的新型破空分流装置，可以增加真空腔的清洁度，并具有噪音小，冲击力小的优点。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜的工装领域，具体涉及一种新型破空分流装置。

背景技术

真空镀膜机工作过程是由大气到真空，经各种工艺镀膜，最终再由真空到大气的状态。在由大气抽真空过渡到真空充大气的过程中，噪音和尘埃纤维会影响到员工的工作环境和产品的质量保障。现有的真空镀膜机设计时的结构是由若干个真空箱体组成。打开充气电磁阀后，外围的大气会直接通过充气电磁阀进入箱体，完成充气过程。其缺点是：1、直接充外围大气会造成箱体内部被大气所包含的尘埃等污染(导电玻璃表面洁净程度要求特别高)。2、充气过程中由于没有消音装置，声音非常大，达到100分贝以上，给工作环境造成噪音污染。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供一种新型破空分流装置，可以增加真空腔的清洁度，并具有噪音小，冲击力小的优点。

为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是一种新型破空分流装置，包括真空阀，所述真空阀的进气端连接有过滤缓冲模块，所述真空阀的出气端连接有破空管道，所述破空管道联通有分流管，所述分流管上设置有若干分流孔。

优选的，所述破空管道与所述分流管相互垂直设置。

优选的，所述分流孔具体为均匀分布于所述分流管的周面上的若干通孔。

优选的，所述过滤缓冲模块包括蜂窝管，所述蜂窝管的管壁上设置有若干均匀分布的正六边形通孔，所述蜂窝管内填充有过滤滤芯。

优选的，所述蜂窝管的一端密封连接所述真空阀的进气端。

优选的，所述过滤滤芯包括至少包括活性炭层，所述活性炭层填充在所述蜂窝管内并至少覆盖所述蜂窝管上的所述正六边形通孔。

优选的，所述活性炭层靠近所述真空阀的一端覆盖有聚丙烯纤维层。

本申请与现有技术相比，其详细说明如下：

本申请公开了一种新型破空分流装置，包括依次设置的过滤缓冲模块、真空阀、破空管道和分流管。当破空时，空气从过滤缓冲模块的蜂窝管进入，经过滤滤芯过滤掉空气中的灰尘、杂质后，从真空阀经破空管道进入分流管，并从分流孔分流后进入真空腔体。所述过滤滤芯可以保证破空时空气的洁净度，同时，过滤滤芯可以降低破空时空气通入时对装置的冲击力，并减少噪音。垂直于破空管道的分流管可以对空气进行缓冲，空气经过分流孔进行分流后通入真空腔体内，这样在不影响破空速率及效果的前提下分担了气压带来的冲击力，减小了破空气体对芯片的冲击力，降低了芯片位移带来的不良风险。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的剖视示意图。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1和图2所示，一种新型破空分流装置，包括依次设置的过滤缓冲模块(1)、真空阀(2)、破空管道(3)和分流管(4)，其中，所述真空阀(2)的进气端连接所述过滤缓冲模块(1)，所述真空阀(2)的出气端连接有破空管道(3)。其中：

所述过滤缓冲模块(1)的端面与所述真空阀(2)的进气端密封连接，所述过滤缓冲模块(1)包括蜂窝管(9)，所述蜂窝管(9)的管壁上均匀分布有若干正六边形通孔(10)，所述蜂窝管(9)内填充有过滤滤芯(6)。