[实用新型]电解铜箔电沉积装置以及电解铜箔制造装置有效

专利信息
申请号: 201721869890.5 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN207828430U 公开(公告)日: 2018-09-07
发明(设计)人: 郑俊基;金相裕 申请(专利权)人: LS美创有限公司
主分类号: C25D1/04 分类号: C25D1/04
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 向勇;崔炳哲
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 实用新型提供一种电解铜箔制造装置,包括:阴极部,其利用电解液,通过电镀方法来电沉积铜箔;阳极部,其通过电解液来与所述阴极部进行通电;以及研磨部,其根据所述阴极部的表面粗糙度(Surface Roughness),研磨所述阴极部。
搜索关键词: 阴极部 电解铜箔 制造装置 电解液 本实用新型 表面粗糙度 电沉积装置 研磨 研磨部 阳极部 电镀 沉积 铜箔 来电 通电
【主权项】:
1.一种电解铜箔电沉积装置,其特征在于,包括:阴极部,利用电解液,通过电镀方法来电沉积铜箔;阳极部,通过所述电解液来与所述阴极部进行通电;以及研磨部,根据所述阴极部的表面粗糙度,研磨所述阴极部。
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