[实用新型]电解铜箔电沉积装置以及电解铜箔制造装置有效
申请号: | 201721869890.5 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN207828430U | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 郑俊基;金相裕 | 申请(专利权)人: | LS美创有限公司 |
主分类号: | C25D1/04 | 分类号: | C25D1/04 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 向勇;崔炳哲 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本实用新型提供一种电解铜箔制造装置,包括:阴极部,其利用电解液,通过电镀方法来电沉积铜箔;阳极部,其通过电解液来与所述阴极部进行通电;以及研磨部,其根据所述阴极部的表面粗糙度(Surface Roughness),研磨所述阴极部。 | ||
搜索关键词: | 阴极部 电解铜箔 制造装置 电解液 本实用新型 表面粗糙度 电沉积装置 研磨 研磨部 阳极部 电镀 沉积 铜箔 来电 通电 | ||
【主权项】:
1.一种电解铜箔电沉积装置,其特征在于,包括:阴极部,利用电解液,通过电镀方法来电沉积铜箔;阳极部,通过所述电解液来与所述阴极部进行通电;以及研磨部,根据所述阴极部的表面粗糙度,研磨所述阴极部。
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