[实用新型]一种高效稳定的电弧等离子体源有效
| 申请号： | 201721855171.8 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207820298U | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 孙玄;易洪深;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;邓治平 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效稳定的电弧等离子体源，包括阳极、阳极铜环电极、内部陶瓷筒、中间陶瓷筒、外部陶瓷筒、阴极、阴极铜环电极、钼注气管、阴极陶瓷盖、引入电极中间绝缘、陶瓷垫圈、能量引入压线铜鼻、陶瓷绝缘盒、阳极陶瓷盖和钼垫圈；阴极和阳极共轴装配，阴极和阳极之间用陶瓷垫圈和钼垫圈交替叠填充，内部陶瓷筒套在垫圈外部，内部陶瓷筒两端分别嵌入阴极和阳极的凹槽内，内部陶瓷筒外再套上中间陶瓷筒，中间陶瓷筒的两端与阴极和阳极的内部端面相接，开有装配孔的外部陶瓷筒套在中间陶瓷筒外。本实用新型只需要脉冲注气，减小等离子体中的中性工作质气体，减少工作质气体使用量，在真空下使用时有利于提高等离子体的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷筒 阴极 阳极 垫圈 电弧等离子体源 等离子体 本实用新型 陶瓷垫圈 环电极 陶瓷盖 套在 外部 气体使用量 陶瓷绝缘盒 引入电极 阳极铜 阴极铜 注气管 装配孔 脉冲 共轴 减小 绝缘 铜鼻 压线 注气 嵌入 填充 装配 引入 | ||
【主权项】：
1.一种高效稳定的电弧等离子体源，其特征在于：包括阳极、阳极铜环电极、内部陶瓷筒、中间陶瓷筒、外部陶瓷筒、阴极、阴极铜环电极、钼注气管、阴极陶瓷盖、引入电极中间绝缘、陶瓷垫圈、能量引入压线铜鼻、陶瓷绝缘盒、阳极陶瓷盖和钼垫圈，阴极和阳极共轴装配，阴极和阳极之间用陶瓷垫圈和钼垫圈交替叠填充，内部陶瓷筒套在垫圈外部，内部陶瓷筒两端分别嵌入阴极和阳极的凹槽内，内部陶瓷筒外再套上中间陶瓷筒，中间陶瓷筒的两端与阴极和阳极的内部端面相接，最后，开有装配孔的外部陶瓷筒套在中间陶瓷筒外，外部陶瓷筒的两端分别与阴极和阳极的外端面平齐，有装配孔的阴极陶瓷盖平铺于阴极的外端面并与阴极共轴，有装配孔的阳极陶瓷盖平铺于阳极外端面并与阳极共轴，调节阴极陶瓷盖和阳极陶瓷盖使它们的装配孔与外部陶瓷筒的装配孔共轴，使用丝杆来固定整个等离子体源。
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