[实用新型]一种可拆卸成膜框架装置

摘要

本实用新型公开了一种可拆卸成膜框架装置，包括框架、置于框架上的若干碳框，硅片放置于碳框内，框架上设有若干纵横排列的槽位，槽位尺寸与碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内，本实用新型采用可拆卸碳框结构，使一体的成膜框架结构分解为若干个可单独拆卸的碳框结构，可根据碳框的成膜情况有针对性的单独对碳框进行拆卸清洗，而不用对整体成膜框架进行清洗，极大降低了成膜框架清洗的工作强度和清洗成本，清洗效率和清洗质量也得到有效提高。

主权项

1.一种可拆卸成膜框架装置，用于装载硅片(1)并进入太阳能电池板式成膜设备腔体内，其特征在于：所述装置包括框架(2)、置于框架上的若干碳框(3)，所述碳框尺寸与所述硅片相吻合且容置硅片，所述框架上设有若干纵横排列的槽位(4)，所述槽位尺寸与所述碳框大小相吻合，碳框嵌设于槽位内。