[实用新型]一种半导体器件的多功能腐蚀装置有效
| 申请号： | 201721816880.5 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN207993809U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 袁鹏;古进;郭荣;简青青;寿强亮 | 申请（专利权）人： | 中国振华集团永光电子有限公司（国营第八三七厂） |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 贵阳睿腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人： | 谷庆红 |
| 地址： | 550018 贵州省*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体器件的多功能腐蚀装置，包括提手、篮架、酸洗盘、支架；所述支架安装在支架内，所述支架安装在篮架内，所述提手安装在篮架的上端，所述酸洗盘在支架内上下水平布置有若干排。本实用新型将酸、碱腐蚀工艺在一个腐蚀盘内进行，大大简化了酸碱腐蚀过程中产品的流转，其设计满足了酸腐蚀工艺中喷淋清洗工艺的需求，同时满足了碱腐蚀过程中提挂式的腐蚀清洗要求，该腐蚀盘同时满足两种生产工艺。同时腐蚀盘的设计与后续涂覆的设备兼容，大大简化了后续产品的流转方式，该发明提高了生产效率，具有较高的市场推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 篮架 支架 腐蚀 半导体器件 本实用新型 腐蚀装置 支架安装 碱腐蚀 酸洗盘 流转 后续产品 喷淋清洗 设备兼容 生产效率 市场推广 水平布置 酸碱腐蚀 提手安装 上端 酸腐蚀 提挂式 提手 涂覆 生产工艺 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件的多功能腐蚀装置，包括提手(1)、篮架(2)、酸洗盘(3)、支架(4)，其特征在于：所述支架(4)安装在支架(4)内，所述支架(4)安装在篮架(2)内，所述提手(1)安装在篮架(2)的上端，所述酸洗盘(3)在支架(4)内上下水平布置有若干排。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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