[实用新型]用于半导体生产设备上可旋转的移载装置

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，吸管同时连接吸头部和上、下固定座，构成了完整的本机构。用同步带把电机和同步轮连接在一起，在通过电机安装板上的腰型孔，张紧同步带，电机带动同步轮，带动吸头做旋转运动。上、下固定座可以做相对运动，此目的是保护吸头在吸附产品的时候，产品不受外力损坏，本实用新型移载装置的过程中同时进行旋转运动，既简化了机构又节省了效率，减震弹簧能有效减轻移载装置吸附过程中对产品吸附面造成的压力，降低了报废率。

主权项

1.用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是：本装置包括吸管、吸头部、上固定座和下固定座，吸头部、上固定座和下固定座套接在吸管（19）上，所述的吸头部包括气接头（9）、吸盘安装柱（10）和吸盘安装座（17），气接头（9）与吸盘安装柱（10）顶端连接，吸盘安装柱（10）通过吸盘安装座（17）套接在吸管（19）上；所述的上固定座包括基板（1）、导套（11）和导套安装座（12），基板（1）通过导套（11）与吸管（19）上段连接，导套（11）通过导套安装座（12）套接吸管（19）上，所述的下固定座包括同步轮固定座（4）、同步轮（5）、电机（6）、电机安装板（7）、直线轴承（15）和同步带（8），电机（6）通过电机安装板（7）与吸管（19）连接，电机（6）输出轴连接同步带（8）一端，同步带（8）另一端与同步轮（5）连接，同步轮（5）通过同步轮固定座（4）套接在直线轴承（15）上，电机安装板（7）通过连接块（3）与基板（1）上的滑轨（2）滑动连接，所述吸管（19）的工作端设有吸盘（18），吸盘（18）通过吸盘安装座（17）与吸管（19）连接。