[实用新型]一种卧式碳化硅真空烧结炉

摘要

本实用新型公开了一种卧式碳化硅真空烧结炉，它包括水平设置在两个底座上的外主炉体，设置在外主炉体内部的内炉体，以及通过连接件密封扣装在外主炉体两端端口处的密封门；所述外主炉体整体为夹套式结构，外主炉体的上、下两侧分别设置有进水口和出水口，在外主炉体后部以及前部中心位置分别设置有抽真空连接口和负压真空表；在外主炉体底部均布设置有多根用于支撑连接内炉体的连通管；所述进水口连接有筒式过滤器，筒式过滤器通过管路与设置有循环水泵的水箱的出水口连接，出水口通过管路与水箱的回水口连接；所述抽真空连接口与抽真空泵连接。

主权项

1.一种卧式碳化硅真空烧结炉，它包括水平设置在两个底座（11）上的外主炉体（1），设置在外主炉体内部的内炉体（13），以及通过连接件密封扣装在外主炉体（1）两端端口处的密封门（2）；其特征在于：所述外主炉体（1）整体为夹套式结构，外主炉体的上、下两侧分别设置有进水口（3）和出水口（4），在外主炉体（1）后部以及前部中心位置分别设置有抽真空连接口（7）和负压真空表（5）；在外主炉体（1）底部均布设置有多根用于支撑连接内炉体（13）的连通管（6）；所述进水口（3）连接有筒式过滤器（14），筒式过滤器通过管路与设置有循环水泵的水箱的出水口连接，出水口（4）通过管路与水箱的回水口连接；所述抽真空连接口（7）与抽真空泵连接；所述内炉体（13）包括金属框架（13‑1）、设置在金属框架内面的高温隔热层（13‑2）、以及环绕设置在高温隔热层内面周壁上的电加热管（13‑3）；在所述电加热管的底面设置有烧结物品放置台（13‑4），所述电加热管通过穿装在连通管（6）内的导线与外部的加热电源相连接；所述密封门包括具有球面结构的外密封门本体（2‑1），以及用于密封内烧结炉的内密封门；所述外密封门本体（2‑1）整体为夹套式结构，在外密封门本体上、下部的外球面上分别设置有用于向外密封门本体夹套腔内通水的门体进水口（2‑2）和门体出水口（2‑3）；在外密封门本体的球面中心部位穿装有连接管（2‑4）；在连接管位于外密封门本体外的一端焊接有气缸座（2‑5）、连接管的另一端位于外密封门本体的内凹面中；所述气缸座（2‑5）的外面水平安装有气缸（2‑6），所述气缸的伸缩杆（2‑7）穿过连接管（2‑4）伸入至外密封门本体内的一端连接有内密封门连接架（2‑8）；所述内密封门包括与内密封门连接架相连接的金属槽（2‑9），以及嵌装在金属槽内的耐温隔热垫（2‑10）。