[实用新型]气体切换系统

摘要

一种气体切换系统包含：气体切换单元及处理模块。气体切换单元连接能提供不同种类气体的多个气体供应设备；两个所述气体供应设备分别提供氮气及超洁净气体。气体切换单元连接主进气管路，气体切换单元能受控制而选择性地使其中一个气体供应设备所提供的气体，进入主进气管路；主进气管路的一端连接至待充气空间。处理模块电性连接气体切换单元，处理模块能接受开门信号或关门信号；处理模块分别接收开门信号及关门信号时，能控制气体切换单元作业，以使主进气管路由排出氮气转换为排出超洁净气体及由排出超洁净气体转换为排出氮气。

主权项

1.一种气体切换系统，其特征在于，所述气体切换系统包含：一气体切换单元，其连接多个气体供应设备，多个所述气体供应设备分别提供彼此不同种类的气体，且所述气体切换单元连接一主进气管路，所述气体切换单元能受控制而选择性地使其中一个所述气体供应设备所提供的气体，进入所述主进气管路；所述主进气管路的一端连接至一待充气空间；其中，两个所述气体供应设备分别提供氮气及超洁净气体；以及一处理模块，其电性连接所述气体切换单元，所述处理模块能接受一外部设备传递的一开门信号或一关门信号；所述处理模块接收所述开门信号时，能控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以使所述主进气管路由排出氮气转换为排出超洁净气体；所述处理模块接收所述关门信号时，能控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以使所述主进气管路由排出超洁净气体转换为排出氮气。