[实用新型]一种立式石英炉

摘要

本实用新型公开了一种立式石英炉，包括机架和固定在机架上的加热炉本体，加热炉本体采用立式结构，增加腔室利用空间，加大均温区放置空间；腔室是由石英管制成的，腔室中心处设置有放置工件的工件篮，腔室底部通过连接通道与泵组相连接；工件篮设置在石英管内，腔室圆周外侧安装有若干红外加热管；由于石英管本身的性质可以承受1000℃以上的高温，透光性好，真空放气率小，可提高石英炉自身高温的适应能力；且红外加热管外侧采用镀金反射层，把红外加热管的加热光透过石英管直接反射到工件上，对工件直接进行光加热，提高红外加热管的热效率，升温迅速；腔室底部设置有风机，风机的出风口通过风道连通腔室外壁；降温时开启，提高冷却速度。

主权项

1.一种立式石英炉，其特征在于，包括机架（1）和固定在机架（1）上的加热炉本体（10），加热炉本体（10）内部设置有腔室（11），腔室（11）是由石英管制成的，腔室（11）中心处设置有放置工件的工件篮（2），腔室（11）底部通过连接通道与泵组（12）相连接；腔室圆周外侧安装有若干红外加热管（4）；腔室（11）底部设置有风机（9），风机（9）的出风口通过风道（8）连通腔室（11）的外壁。