[实用新型]一种立式石英炉有效

专利信息
申请号: 201721661346.1 申请日: 2017-12-04
公开(公告)号: CN207688625U 公开(公告)日: 2018-08-03
发明(设计)人: 叶祥 申请(专利权)人: 上海三井真空设备有限公司
主分类号: F27B1/09 分类号: F27B1/09;F27B1/10;F27B1/24
代理公司: 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 代理人: 陈伟勇
地址: 201708 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 红外加热管 腔室 石英管 石英炉 加热炉本体 工件篮 风机 本实用新型 放置工件 放置空间 立式结构 连接通道 腔室圆周 腔室中心 真空放气 热效率 出风口 反射层 加热光 连通腔 透光性 风道 均温 石英 镀金 反射 加热 冷却 室外 管制
【说明书】:

实用新型公开了一种立式石英炉,包括机架和固定在机架上的加热炉本体,加热炉本体采用立式结构,增加腔室利用空间,加大均温区放置空间;腔室是由石英管制成的,腔室中心处设置有放置工件的工件篮,腔室底部通过连接通道与泵组相连接;工件篮设置在石英管内,腔室圆周外侧安装有若干红外加热管;由于石英管本身的性质可以承受1000℃以上的高温,透光性好,真空放气率小,可提高石英炉自身高温的适应能力;且红外加热管外侧采用镀金反射层,把红外加热管的加热光透过石英管直接反射到工件上,对工件直接进行光加热,提高红外加热管的热效率,升温迅速;腔室底部设置有风机,风机的出风口通过风道连通腔室外壁;降温时开启,提高冷却速度。

技术领域

本实用新型涉及一种立式石英炉,属于石英炉加热技术领域。

背景技术

石英炉顾名思义就是把石英管作为腔室的炉子,利用红外加热管代替现有的电阻加热丝,具有对工件直接进行光加热,升温、降温迅速,减少保温层储存的热量,降低了能耗,同时也提高了生产效率。

实用新型内容

本实用新型要解决现有的石英炉为卧式加热炉,工件放置区域小,空间利用不合理;现在提供一种立式石英炉,在同样的腔室空间内,能够放置更多的工件,增加均温区,合理利用腔室空间。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

本实用新型一种立式石英炉,包括机架和固定在机架上的加热炉本体,加热炉本体内部设置有腔室,腔室是由石英管制成的,腔室中心处设置有放置工件的工件篮,腔室底部通过连接通道与泵组相连接;腔室圆周外侧安装有若干红外加热管;腔室底部设置有风机,风机的出风口通过风道连通腔室外壁。

作为本实用新型的一种优选技术方案,红外加热管外侧敷设一层镀金反射层,并在红外加热管外侧设置有腔室水套。

作为本实用新型的一种优选技术方案,工件篮上下两端分别安装有上屏蔽层和下屏蔽层,上屏蔽层和下屏蔽层均固定在加热炉本体内。

作为本实用新型的一种优选技术方案,泵组安装在机架的底部,且泵组通过连接通道连接到加热炉本体的底部,加热炉本体垂直固定在在机架上。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型采用立式结构,增加腔室利用空间,加大均温区放置空间;在石英管腔室外侧圆周方向均布的12根进口红外加热管,由于石英管本身的性质可以承受1000℃以上的高温,透光性好,真空放气率小,可提高石英炉自身高温的适应能力;且红外加热管外侧采用镀金反射层,把红外加热管的加热光透过石英管直接反射到工件上,对工件直接进行光加热,提高红外加热管的热效率,升温迅速;在腔室底部增加风机、风道,降温时开启,提高冷却速度。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型整体结构示意图;

图中:1、机架;2、工件篮;3、上屏蔽层;4、红外加热管;5、腔室水套;6、镀金反射层;7、下屏蔽层;8、风道;9、风机;10、加热炉本体;11、腔室;12、泵组。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

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