[实用新型]一种立式石英炉

权利要求书

1.一种立式石英炉，其特征在于，包括机架（1）和固定在机架（1）上的加热炉本体（10），加热炉本体（10）内部设置有腔室（11），腔室（11）是由石英管制成的，腔室（11）中心处设置有放置工件的工件篮（2），腔室（11）底部通过连接通道与泵组（12）相连接；腔室圆周外侧安装有若干红外加热管（4）；腔室（11）底部设置有风机（9），风机（9）的出风口通过风道（8）连通腔室（11）的外壁。

2.根据权利要求1所述的一种立式石英炉，其特征在于，红外加热管（4）外侧敷设一层镀金反射层（6），并在红外加热管（4）外侧设置有腔室水套（5）。

3.根据权利要求1所述的一种立式石英炉，其特征在于，工件篮（2）上下两端分别安装有上屏蔽层（3）和下屏蔽层（7），上屏蔽层（3）和下屏蔽层（7）均固定在加热炉本体（10）内。

4.根据权利要求1所述的一种立式石英炉，其特征在于，泵组（12）安装在机架（1）的底部，且泵组（12）通过连接通道连接到加热炉本体（10）的底部，加热炉本体（10）垂直固定在在机架（1）上。