[实用新型]一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置有效

专利信息
申请号: 201721655783.2 申请日: 2017-12-01
公开(公告)号: CN207480409U 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 刚爽;杨晔;朱永明 申请(专利权)人: 宁波森利电子材料有限公司
主分类号: B24C9/00 分类号: B24C9/00
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 文芳
地址: 315100 浙江省宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及大型喷涂旋转靶材的生产设备领域,特别涉及一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,包括端部设有卡槽的靶材备管,还包括缓冲层和防护层,所述缓冲层覆盖卡槽的内壁和外壁,防护层套设在缓冲层的外侧,防护层通过锁紧件固定在靶材备管的端部,本实用新型是一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,可以根据备管卡槽尺寸灵活调整防护装置尺寸,对备管卡槽进行精准防护,且拆卸方便。
搜索关键词: 防护装置 旋转靶材 喷涂 防护层 缓冲层 喷砂 本实用新型 靶材 管卡 卡槽 拆卸方便 灵活调整 生产设备 锁紧件 内壁 外壁 防护 覆盖
【主权项】:
一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,包括端部设有卡槽(2)的靶材备管(1),其特征在于:还包括缓冲层(3)和防护层(4),所述缓冲层(3)覆盖卡槽(2)的内壁和外壁,防护层(4)套设在缓冲层(3)的外侧,防护层(4)通过锁紧件(5)固定在靶材备管(1)的端部。
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