[实用新型]一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置有效
申请号: | 201721655783.2 | 申请日: | 2017-12-01 |
公开(公告)号: | CN207480409U | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 刚爽;杨晔;朱永明 | 申请(专利权)人: | 宁波森利电子材料有限公司 |
主分类号: | B24C9/00 | 分类号: | B24C9/00 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 文芳 |
地址: | 315100 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防护装置 旋转靶材 喷涂 防护层 缓冲层 喷砂 本实用新型 靶材 管卡 卡槽 拆卸方便 灵活调整 生产设备 锁紧件 内壁 外壁 防护 覆盖 | ||
1.一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,包括端部设有卡槽(2)的靶材备管(1),其特征在于:还包括缓冲层(3)和防护层(4),所述缓冲层(3)覆盖卡槽(2)的内壁和外壁,防护层(4)套设在缓冲层(3)的外侧,防护层(4)通过锁紧件(5)固定在靶材备管(1)的端部。
2.根据权利要求1所述的一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,其特征在于:所述缓冲层(3)为耐高温胶带。
3.根据权利要求1所述的一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,其特征在于:所述缓冲层(3)的厚度在0.06mm到0.08mm之间。
4.根据权利要求1所述的一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,其特征在于:所述缓冲层(3)位于靶材备管(1)内壁的宽度在5mm至10mm之间。
5.根据权利要求1所述的一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,其特征在于:所述防护层(4)为普通钢带。
6.根据权利要求1所述的一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,其特征在于:所述缓冲层(3)和防护层(4)的宽度均等于靶材备管(1)的卡槽(2)宽度。
7.根据权利要求1所述的一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,其特征在于:所述防护层(4)的厚度在0.3mm到0.5mm之间。
8.根据权利要求1所述的一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,其特征在于:所述锁紧件(5)为套设在防护层(4)外的通用型蜗杆喉箍。
9.根据权利要求1所述的一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置,其特征在于:所述防护层为一个套圈,所述套圈包括内壳(6)和外壳(7),内科和外壳(7)之间设置有供靶材备管(1)的卡槽(2)卡接的环形容纳槽(8)。
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