[实用新型]一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置有效
| 申请号： | 201721639705.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207696244U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 王海君;郭栋梁;刘建峰;董开纪;雷亮 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B49/00 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 狄干强 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，包括表面具有0‑360角度刻度的圆盘和条形水平钢板，其中，条形水平钢板通过其一端设置的磨轮轴固定孔与磨轮轴固定连接，条形水平钢板的另一端设置有千分表安装孔，该千分表安装孔内垂直设置有千分表，千分表的侧头与圆盘的边缘接触，圆盘吸附在吸盘上，通过手动转动吸盘带动圆盘转动，进而根据千分表读数的变化和圆盘上角度刻度的结合，调整吸盘固定螺丝的松紧度来使调节磨轮与吸盘平行度。本实用新型具有加工工艺简单、价格低廉、操作方便的优点，克服了磨轮与吸盘固定在不同位置与空间、平行度不易测量及调整困难的问题，大大地节省了生产成本，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 磨轮 条形水平 平行度调整装置 钢板 千分表安装孔 角度刻度 一端设置 磨轮轴 平行度 千分表 硅片 倒角 本实用新型 千分表读数 边缘接触 垂直设置 工作效率 固定螺丝 手动转动 圆盘转动 固定孔 松紧度 侧头 吸附 生产成本 测量 | ||
【主权项】：
1.一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：包括一表面具有0‑360角度刻度的圆盘（6）和一条形水平钢板（4），其中，条形水平钢板（4）通过其一端设置的磨轮轴固定孔（401）与磨轮轴（101）固定连接，条形水平钢板（4）的另一端设置有一千分表安装孔（402），该千分表安装孔（402）内垂直设置有千分表（5），千分表（5）的侧头与圆盘（6）的边缘接触，圆盘（6）吸附在吸盘（2）上，通过手动转动吸盘（2）带动圆盘（6）转动，进而根据千分表（5）读数的变化和圆盘（6）上角度刻度的结合，调整吸盘固定螺丝（201）的松紧度来使调节磨轮与吸盘平行度。
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