[实用新型]一种自供电三轴加速度传感器

摘要

本实用新型提供一种自供电三轴加速度传感器及检测方法，属于能源材料与器件技术领域。悬臂梁共四根，两两垂直，呈十字形分布，悬臂梁末端置有压电层，用于三轴加速度检测；自由端与基质量块相连，末端与支撑结构相连；基质量块正下方依次固定连接有辅助质量块、永磁体，三者构成了整个质量块；电磁感应线圈置于永磁体正下方，支撑结构的内底面上，用于采集振动能量为加速度传感器供电。本实用新型提出的加速度传感器可对任意方向加速度进行检测，并且可以实现自供电，降低了成本，扩大了应用范围。

主权项

1.一种自供电三轴加速度传感器，包括：悬臂梁、压电层、基质量块以及支撑结构，其中四根悬臂梁两两垂直，呈十字形分布，在每根悬臂梁的末端固定连接有压电层、自由端附有同一基质量块，悬臂梁末端与支撑结构相连，其特征在于：基质量块的正下方固定连接辅助质量块，辅助质量块下方固定连接永磁体，在永磁体的正下方、支撑结构内底面上方固定连接有电磁感应线圈，在电磁感应线圈外围有磁屏蔽层。