[实用新型]一种硅片铝硅合金层厚度测试装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片铝硅合金层厚度测试装置，属于太阳能电池技术领域，该测试装置包括：第一反应槽，容纳有第一反应液；第二反应槽，容纳有第二反应液；电阻率测试仪，能够与第一反应槽的硅片和第二反应槽内的硅片连接；重量传感器，设置于第二反应槽内；测厚仪，设置于第一反应槽和第二反应槽的外部。本实用新型提供的测试装置只需将硅片依次在第一反应槽和第二反应槽内发生反应，然后对反应后的硅片进行称重，即可求得铝硅合金层的厚度，该测试装置结构简单，操作方便，且成本低。此外，本实用新型通过电阻率测试仪测试硅片的电阻率，以确定硅片上的铝背场以及硅铝合金层是否反应完全，使得检测装置能够简单、方便地监测硅片的电阻率。

主权项

1.一种硅片铝硅合金层厚度测试装置，其特征在于，包括：第一反应槽(1)，容纳有第一反应液，所述第一反应液能够与硅片的铝背场发生反应，所述第一反应槽(1)内设置有带动所述第一反应槽(1)内的硅片升降的第一升降台(12)；第二反应槽(2)，容纳有第二反应液，所述第二反应液能够与硅片的硅铝合金层发生反应，所述第二反应槽(2)内设置有带动所述第二反应槽(2)内的硅片升降的第二升降台(21)；传输组件(6)，两端分别与所述第一反应槽(1)和所述第二反应槽(2)对接，能够将所述第一升降台(12)上的硅片传输至所述第二升降台(21)；电阻率测试仪(3)，能够与所述第一反应槽(1)和所述第二反应槽(2)内的硅片连接，以监测所述第一反应槽(1)和所述第二反应槽(2)内的硅片的电阻率；重量传感器，设置于所述第二升降台(21)上，并对所述第二升降台(21)上的硅片称重；及测厚仪，设置于所述传输组件(6)的一侧，能够测量硅片的厚度。