[实用新型]宽幅等离子表面处理装置

摘要

本实用新型公开了宽幅等离子表面处理装置，包括封闭的盒体，盒体内设有封板和位于封板的下方的绝缘的固定板，封板和固定板将盒体的内腔隔断为进气区、匀气区及出气区，出气区位于固定板与盒体的底板之间，封板上设有至少一个连通进气区与匀气区的第一通孔，固定板上设有至少一个连通匀气区与出气区的第二通孔；盒体上设有至少一个与进气区相连通的进气口；盒体的底板上设有多个第三通孔，每个第三通孔上均固定有一个喷嘴，固定板上固定有多个电极组件，电极组件与喷嘴一一对应设置且电极组件的一部分位于喷嘴内，盒体上固定有高压线，高压线通过固定板上的电路与电极组件导通。具有多个喷嘴，大大提高了等离子表面处理装置处理待加工物体的效率。

主权项

宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：包括封闭的盒体，盒体内设有封板和位于封板的下方的绝缘的固定板，所述封板和固定板将所述盒体的内腔隔断为进气区、匀气区及出气区，所述出气区位于固定板与盒体的底板之间，所述封板上设有至少一个连通进气区与匀气区的第一通孔，所述固定板上设有至少一个连通匀气区与出气区的第二通孔；所述盒体上设有至少一个与所述进气区相连通的进气口；所述盒体的底板上设有多个第三通孔，每个所述第三通孔上均固定有一个喷嘴，所述固定板上固定有多个电极组件，所述电极组件与所述喷嘴一一对应设置且电极组件的一部分位于所述喷嘴内，盒体上固定有高压线，所述高压线通过固定板上的电路与所述电极组件导通。