[实用新型]宽幅等离子表面处理装置

权利要求书

1.宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：包括封闭的盒体，盒体内设有封板和位于封板的下方的绝缘的固定板，所述封板和固定板将所述盒体的内腔隔断为进气区、匀气区及出气区，所述出气区位于固定板与盒体的底板之间，所述封板上设有至少一个连通进气区与匀气区的第一通孔，所述固定板上设有至少一个连通匀气区与出气区的第二通孔；所述盒体上设有至少一个与所述进气区相连通的进气口；所述盒体的底板上设有多个第三通孔，每个所述第三通孔上均固定有一个喷嘴，所述固定板上固定有多个电极组件，所述电极组件与所述喷嘴一一对应设置且电极组件的一部分位于所述喷嘴内，盒体上固定有高压线，所述高压线通过固定板上的电路与所述电极组件导通。

2.根据权利要求1所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：所述电极组件包括可拆卸连接的电极固定轴和电极，所述电极固定轴与所述固定板可拆卸连接，所述电极的一部分位于所述喷嘴内。

3.根据权利要求2所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：所述电极固定轴与所述固定板螺纹连接并通过所述电路与高压线导通。

4.根据权利要求2或3所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：所述电极固定轴与所述电极螺纹连接并导通。

5.根据权利要求1所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：所述第二通孔的数量为多个，多个所述电极组件设于固定板的中央区域且排列成至少两排。

6.根据权利要求5所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：相邻的两排所述电极组件错位设置。

7.根据权利要求5所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：多个所述第二通孔呈两排均布在固定板上，且所述电极组件位于两排所述第二通孔之间。

8.根据权利要求1所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：所述盒体的底板上设有至少一条冷却通道。

9.根据权利要求8所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：所述冷却通道内通入冷气或冷却液。

10.根据权利要求1所述的宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：所述盒体包括外壳体和两端开口的中空结构的内框体，内框体内部设有第一环槽和第二环槽，所述封板通过第一环槽固定在内框体内，所述固定板通过第二环槽固定在内框体内，外壳体包括顶板、底板及两端开口的中空结构的外框体，所述顶板和底板分别与外框体连接并分别封堵所述外框体的两个开口，所述内框体位于外框体内并紧贴所述外框体，所述顶板上设有用于固定内框体顶端的第三环槽，所述底板上设有用于固定内框体底端的第四环槽。