[实用新型]一种太阳能电池扩散用瓶源

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池扩散用瓶源，属于太阳能电池加工领域，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。本实用新型的有益效果是：采用主瓶源和副瓶源的设计，在使用过程中无须更换主瓶源，只需要更换副瓶源，由于副瓶源中源量液位对主瓶源中产生的三氯氧磷蒸汽浓度不产生影响，故可使用完后进行更换，避免了三氯氧磷浪费。

主权项

1.一种太阳能电池扩散用瓶源，其特征在于，包括一个主瓶源和两个以上的副瓶源，所述主瓶源上设有一个第一进气口、一个第一出气口和一个补液口，所述第一进气口在所述主瓶源内部一端位于所述主瓶源液面以下，所述第一出气口一端与所述主瓶源顶部连通，另一端与扩散炉管相连；所述补液口与所述副瓶源连通。