[实用新型]一种用于功率器件老炼的温控装置有效
申请号: | 201721528838.3 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN207602525U | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 孟浩 | 申请(专利权)人: | 江苏伊施德创新科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人: | 顾吉云;陈松 |
地址: | 214028 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于功率器件老炼的温控装置,其结构简单,功率器件安装拆卸方便,不易损坏,维护方便,能够在功率器件的老炼过程中实现高精度控温,安全无任何泄漏危险,包括底板和温控夹具,温控夹具包括金属导热座和器件安装座,金属导热座上设有接触导热块,器件安装座上对应接触导热块设有缺口,接触导热块穿过缺口使得功率器件安装座安装在金属导热座上,接触导热块上有加热器,加热器上有温度传感器,功率器件通过螺栓固定在器件安装座上且功率器件的散热面与加热器接触,器件安装座上安装有电路转接板,加热器和温度传感器连接电路转接板,金属导热座的下端有冷却板,冷却板内部设有冷却风道,冷却风道分别连接有进风口和出风口。 | ||
搜索关键词: | 功率器件 导热 金属导热 器件安装 加热器 老炼 夹具 温度传感器 冷却风道 温控装置 冷却板 温控 底板 本实用新型 电路转接板 加热器接触 拆卸方便 连接电路 螺栓固定 维护方便 安装座 出风口 进风口 散热面 转接板 控温 下端 泄漏 穿过 安全 | ||
【主权项】:
1.一种用于功率器件老炼的温控装置,包括底板和安装在所述底板上的温控夹具,其特征在于:所述温控夹具包括金属导热座和器件安装座,所述金属导热座上设有与功率器件相配合的接触导热块,所述器件安装座上对应所述接触导热块设有缺口,所述接触导热块穿过所述缺口使得所述功率器件安装座安装在所述金属导热座上,所述接触导热块上安装有加热器,所述加热器上设有温度传感器,所述功率器件通过螺栓固定在所述器件安装座上且所述功率器件的散热面与所述加热器接触,所述器件安装座上安装有电路转接板,所述加热器和所述温度传感器连接所述电路转接板,所述金属导热座的下端安装有冷却板,所述冷却板内部设有冷却风道,所述冷却风道分别连接有进风口和出风口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造