[实用新型]一种硅锭长晶用支撑装置有效
申请号: | 201721495628.9 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN207552492U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 刘耀峰 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B28/00 | 分类号: | C30B28/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 高玉滨 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅锭长晶用支撑装置,包括定向块,在所述定向块下方设置有支撑柱,在所述定向块上方设置有垫板,在所述定向块四周分别设置有隔热条,所述隔热条将所述定向块四周表面进行全部覆盖。本实用新型所公开的硅锭长晶用支撑装置,通过在定向块四周设置隔热条,使坩埚四边热量不容易散失,相对提高了硅锭边缘的温度,更好的保证硅锭长晶温度,保证硅锭晶柱笔直而且均匀往上生长,更有效的使硅锭边角的长晶稳定及定向。 | ||
搜索关键词: | 硅锭 定向块 支撑装置 隔热条 本实用新型 四边 四周表面 支撑柱 边角 垫板 晶柱 坩埚 保证 生长 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种硅锭长晶用支撑装置,包括定向块,在所述定向块下方设置有支撑柱,在所述定向块上方设置有垫板,其特征在于:在所述定向块四周分别设置有隔热条,所述隔热条将所述定向块四周表面进行全部覆盖。
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