[实用新型]一种硅锭长晶用支撑装置有效
申请号: | 201721495628.9 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN207552492U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 刘耀峰 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B28/00 | 分类号: | C30B28/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 高玉滨 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅锭 定向块 支撑装置 隔热条 本实用新型 四边 四周表面 支撑柱 边角 垫板 晶柱 坩埚 保证 生长 覆盖 | ||
1.一种硅锭长晶用支撑装置,包括定向块,在所述定向块下方设置有支撑柱,在所述定向块上方设置有垫板,其特征在于:在所述定向块四周分别设置有隔热条,所述隔热条将所述定向块四周表面进行全部覆盖。
2.根据权利要求1所述的一种硅锭长晶用支撑装置,其特征在于:所述隔热条与所述定向块通过内嵌螺丝进行固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅锭长晶用支撑装置,其特征在于:所述隔热条与所述定向块厚度相同,所述隔热条的上表面与所述定向块的上表面处于同一平面。
4.根据权利要求3所述的一种硅锭长晶用支撑装置,其特征在于:所述隔热条上表面与所述定向块上表面与所述垫板下表面形状大小均相同。
5.根据权利要求1所述的一种硅锭长晶用支撑装置,其特征在于:所述定向块尺寸为长×宽×高为960mm×960mm×100mm。
6.根据权利要求5所述的一种硅锭长晶用支撑装置,其特征在于:所述隔热条尺寸为长×宽×高为1050mm×90mm×100mm。
7.根据权利要求1所述的一种硅锭长晶用支撑装置,其特征在于:所述支撑柱为多根,均匀设置在所述定向块下方。
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